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干法蝕刻通常指利用輝光放電方式,產(chǎn)生等離子體來進行圖案轉(zhuǎn)移的蝕刻技術(shù)。其中等離子體含有()。
A、離子、電子
B、中性原子
C、分子
D、自由基
ICP—AFS是指ICP光譜分析儀器中的哪種類型()
A、等離子體原子發(fā)射光譜
B、等離子體原子吸收光譜
C、等離子體原子熒光光譜
D、等離子體質(zhì)譜
下列對于微波誘導(dǎo)氦等離子體的敘述錯誤的是()。
A.等離子體在高壓下工作,與GC的接口較困難
B.與ICP相比,氣體流速較低
C.He是GC常用的載氣,作為等離子體氣體比較方便
D.He具有簡單的光譜背景,激發(fā)能明顯高于氬
由我國自行設(shè)計、研制的世界上第1個全超導(dǎo)非圓截面托卡馬克核聚變實驗裝置(EAST)2006年9月28日在進行首輪物理放電實驗過程中,成功獲得電流200千安、時間接近3秒的高溫等離子體放電。EAST裝置的關(guān)鍵部件均由中科院等離子體所的科技人員自主研發(fā)、加工、制造、組裝、調(diào)試,全部達到或超過設(shè)計要求。
()是在兩張薄玻璃板之間充填混合氣體,施加電壓使之產(chǎn)生等離子體,然后使等離子體放電,與基板中的熒光體發(fā)生反應(yīng),從而產(chǎn)生彩色影像。
A、等離子顯示器
B、標(biāo)記
C、管理
D、處理